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中年已具备提供合格SiC外延片能力，松山湖材料实验室SiC外延设备通过验收


集微网消息 ， 近日 ， 广东省松山湖材料实验室陈小龙研究员带领的SiC及相关材料团队成功建设了一条SiC外延工艺研发产线 。
中年已具备提供合格SiC外延片能力，松山湖材料实验室SiC外延设备通过验收
本文插图
图片来源：松山湖材料实验室
7月29日 ， 验收专家组对团队的外延设备及外延片质量进行了技术验收 。 验收专家组认为SiC及相关材料团队所生产的SiC外延片已经满足各项验收指标 ， 该团队已经具备对外提供合格SiC外延片的能力 。
松山湖材料实验室官方消息显示 ， SiC外延设备顺利验收和研发产线的成功建成 ， 标志着松山湖材料实验室SiC及相关材料团队正式登上了SiC外延的舞台 。
据介绍 ， 该外延设备的生长速度可达30-60微米/小时 。 对100微米外延片 ， 其背景载流子浓度低于1×1014cm-3 ， 表面粗糙度低于0.25 nm ， 膜厚均匀性偏差优于1% ， 载流子浓度均匀性偏差优于7% ， 表面缺陷密度最低可达0.05/cm2 。
松山湖材料实验室以中国科学院物理研究所为牵头单位 ， 东莞市政府、中国科学院高能物理研究所为共建单位 。 2018年4月 ， 松山湖材料实验室在东莞揭牌成立 。
据南方日报去年报道 ， 该实验室已引进18个高水平团队 ， 均来自国内外著名高校和科研院所 ， 所研究的项目内容涉及实用的合金材料、先进的量子材料等多个领域 。 分两批次打造创新样板工厂项目 ， 包括新材料超快激光极端精细加工技术研发及产业化、第三代半导体材料和器件、仿生控冰冷冻保存材料等一批前沿“硬科技”产业化项目 。 （校对/若冰）
【来源：爱集微APP】
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